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概念现在即可开发完成。其架构将包括： 1. 这是一种平均功率约为2-3千瓦、脉冲重复频率为100-200千赫兹的飞秒激光系统。与ASML系统中的COz激光器不同，该系统可采用固态Yb激光器或光纤系统，

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发布时间：10:51:22


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